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PTL等离子监控系统

PTL等离子监控系统

PTL等离子系统配备三重工艺监控,迅速而有效地应对突发情况,并预防系统中断。

光学监控

为确保均匀而优质的等离子体,需要对产生的等离子体进行连续的光谱监测。作为单通道光学检测系统的一部分,由集成到等离子喷枪内部的传感器测量等离子体发射的光束。然后再根据辐射光的光谱范围进行稳定的振幅估算。该监测过程和等离子体的产生相互独立,因此,能够可靠地描述等离子系统的运行状况。

运动监控

除了等离子强度和有效距离,等离子体喷枪的运动和旋转速度也是处理质量的重要评判标准。PTL系统提供的运动控制系统,能确保运行过程和生产过程的高度可靠。

介质供给监控

要确保不同的工艺流程的可再现性,尤其是一些特殊的等离子体参数,比如温度和等离子强度的可再现性,就必须控制介质的供应。PTL公司可为任何特定的工艺需求提供专门的监控装置,其中包括由微控制器控制的流量测量和监控装置。

完善的监控,确保等离子系统长时间稳定运行。

脚注信息
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