产品详情
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科研专用小型真空等离子系统
PTL-S系列等离子系统是小型真空等离子设备，主要根据不同的应用领域可提供不同频率、不同腔体大小、不同电极结构的系统配置。用于科研实验、教学演示、产品测试、小批量生产等领域，适合于大学实验室、科研院所、企业研发部门等。体积紧凑，功能配置齐全。
PTL-S系列小型等离子系统
PTL-S系列等离子系统主要应用于以下领域：
· 生物技术· 电子技术· 精密工程· 研究和开发· 半导体技术· 小批量生产
· 塑料技术· 医疗技术· 微系统技术· 太阳能电池技术 · 纺织技术
基本设备
腔室容积：2L、5L、10L、20L可选
供电电源： 220 V
发生器
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频率： |
40 kHz: 功率 0 - 1000 W； |
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13.56 MHz: 0 - 600 W |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空腔室
· 圆形不锈钢腔体
· 矩形铝合金腔体
· 圆形石英玻璃腔体
工艺气源
质量流量控制器 或针阀流量计
两路或三路工艺气体
内置承载件
产品托盘、石英玻璃舟皿、氧化铝板、石英玻璃隔板
电极
单层或多层
内置或外置型
感性或容性耦合电极
控制系统
PLC+人机界面
压力测量控制
采用PID压力控制系统
真空泵
按需配置
保护系统
全电路保护
PTL 科 技 引 领 工 艺 变 革
