产品详情
|
大型工业真空等离子系统
PTL-L系列大型工业等离子系统
PTL-L系列等离子系统是大型工业真空等离子设备，根据不同的应用领域可提供不同频率、不同腔体大小、不同电极结构的系统配置。适合于工厂企业批量化连续生产。PTL-L系列等离子系统主要应用于以下领域：
· 生物技术· 汽车配件· 航空航天· 智能技术· 电子技术· 精密工程· 研究和开发
· 半导体技术· 塑料技术· 医疗技术· 微系统技术· 太阳能电池技术· 纺织技术
PTL真空工业系列基本设备
腔室容积：40L、60L、100L、200L、600L可选
供电电源： 220 V 、380V
发生器
|
频率： |
40 kHz: 功率 0 - 10KW； |
|
13.56 MHz: 0 - 2000 W； |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空腔室
· 矩形不锈钢腔体
· 矩形铝合金腔体
工艺气源
质量流量控制器 或针阀流量计
两路或三路工艺气体
内置承载件
产品托盘、石英玻璃舟皿、氧化铝板、不锈钢板
电极
内置多层容性耦合极板
控制系统
PLC+人机界面
压力测量控制
采用PID压力控制系统
真空泵
按需配置
保护系统
全电路保护
PTL 科 技 引 领 工 艺 变 革
